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随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

多级离心真空泵进水口与弯头直接相连　　这样会使水流通过弯头进入叶轮时散布不均。当进水管直径大于水真空泵进水口时，应装置偏疼变径管。偏疼变径管平面有些要装在上面，斜面有些装在下面。不然集合空气，出水量削减或抽不上水，并有撞击声等。若进水管与水真空泵进水口直径持平时，应在水真空泵进水口和弯头之间加一向管，直管长度不得小于水管直径的2～3倍。