企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 经销批发 |
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干泵;国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。
真空系统常用名称①主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。②前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。③粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入,增加和效率下降阀片,经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上,上部摆开一个角度,被扭曲成“S”形,经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题,阀片中间应力过于集中,加快了其他部件的疲劳和破坏程度,减少了设备使用寿命,导致阀片从中间部分出现断裂情况,影响正常使用。