真空泵厂家陕西屹达-水环式真空泵价格-铁岭真空泵价格

真空泵按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。气体输送泵包括：1、液环真空泵(水环式真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等。气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。工业中应用多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。

分子泵：分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

进水管的进水口方位不对①进水管的进水口离进水池底和池壁间隔小于进水口直径。若是池底有泥沙等污物时，进水口离池底的间隔小于直径的1.5倍时，会形成抽水时进水不畅或吸进泥沙杂物，阻塞进水口。②进水管的进水口入水深度不行时，这样会引起进水管周围水面发生漩涡，影响进水，削减出水量。正确的装置办法是：中小型水真空泵入水深度不得小于300～600mm，大型水真空泵不得小于600～1000mm。