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陕西屹达空压机有限公司

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旋片真空泵厂家-真空泵厂家-屹达空压机

询盘留言|投诉|申领|删除 产品编号:581178702                    更新时间:2024-07-04
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  • 主营业务:螺杆空压机,全无油空压机,中高压空压机,后处理,储气罐
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分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。

真空泵厂家效果(1)由于轴流风机转速高,风压风量大,冷却效果大大增强,在相同的环境温度、负荷电流下,主电机温度下降了12℃。夏季主电机温度未再超限。(2)轴流风机可人为控制,主电机停运后,轴流风机仍可运行,可以使主电机得到充分冷却。(3)尽量使2段母线负荷分配平衡,以防某段母线因负荷过重造成电压下降过多。(4)电压调整后,真空泵运行电流降为210A,发热量相对减小。(5)减缓了主电机的绝缘老化速度,延长了其使用寿命。

真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入,增加和效率下降阀片,经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上,上部摆开一个角度,被扭曲成“S”形,经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题,阀片中间应力过于集中,加快了其他部件的疲劳和破坏程度,减少了设备使用寿命,导致阀片从中间部分出现断裂情况,影响正常使用。

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