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发布时间:2021-11-20 21:51:00 作者:陕西屹达






真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。真空泵的价格、运转及维修费用。
分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。

小型真空泵厂家效果(1)由于轴流风机转速高,风压风量大,冷却效果大大增强,在相同的环境温度、负荷电流下,主电机温度下降了12℃。夏季主电机温度未再超限。(2)轴流风机可人为控制,主电机停运后,轴流风机仍可运行,可以使主电机得到充分冷却。(3)尽量使2段母线负荷分配平衡,以防某段母线因负荷过重造成电压下降过多。(4)电压调整后,真空泵运行电流降为210A,发热量相对减小。(5)减缓了主电机的绝缘老化速度,延长了其使用寿命。

多级离心真空泵进水口与弯头直接相连 这样会使水流通过弯头进入叶轮时散布不均。当进水管直径大于水真空泵进水口时,应装置偏疼变径管。偏疼变径管平面有些要装在上面,斜面有些装在下面。不然集合空气,出水量削减或抽不上水,并有撞击声等。若进水管与水真空泵进水口直径持平时,应在水真空泵进水口和弯头之间加一向管,直管长度不得小于水管直径的2~3倍。

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