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发布时间:2021-11-20 06:31:00 作者:陕西屹达






罗茨泵:从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵一定要在占领基础上设法进入国际市场另外,还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快,技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得到平衡,所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵,所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。
分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。

多级离心真空泵进水口与弯头直接相连 这样会使水流通过弯头进入叶轮时散布不均。当进水管直径大于水真空泵进水口时,应装置偏疼变径管。偏疼变径管平面有些要装在上面,斜面有些装在下面。不然集合空气,出水量削减或抽不上水,并有撞击声等。若进水管与水真空泵进水口直径持平时,应在水真空泵进水口和弯头之间加一向管,直管长度不得小于水管直径的2~3倍。

环境的影响: 环境的影响主要是指被抽气体对体系的污染, 在钢液处置过程中, 钢液会放出很多的气体, 一起也会有一部分细微的氧化粉皮等小颗粒被吸入真空泵, 这些小颗粒会堆积粘附在泵体上,减小了抽气管路流导, 延长了抽气时刻, 下降了泵的抽气功能。经过长时间的理论探索, 咱们以为对泵的功能影响较大的主要有: 内走漏、蒸汽的影响、泵的布局的影响。

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